172nm光刻及相關半導體加工工藝(Lithography Related)
主要特性
×
臺式掃描電鏡SEM

秉承操作便捷、快速成像、性能穩定的設計目標,鎢燈絲臺式掃描電子顯微鏡ZEM15。
ZEM15臺式掃描電鏡速度快,信號采集帶寬10M,可以在視頻模式下流暢實時的顯示樣品。只需鼠標就可完成操作,不需對中光闌等復雜步驟,聚焦消像散后可直接拍圖。
主機集成高壓及控制系統,體積小巧,便于移動,可出差攜帶,安裝無需特殊環境,只需找一張桌子,供電就可工作。
秉承操作便捷、快速成像、性能穩定的設計目標,鎢燈絲臺式掃描電子顯微鏡ZEM15。
ZEM15臺式掃描電鏡速度快,信號采集帶寬10M,可以在視頻模式下流暢實時的顯示樣品。只需鼠標就可完成操作,不需對中光闌等復雜步驟,聚焦消像散后可直接拍圖。
主機集成高壓及控制系統,體積小巧,便于移動,可出差攜帶,安裝無需特殊環境,只需找一張桌子,供電就可工作。
ZEM15臺式掃描電鏡主要參數指標 | |
放大倍數 | 60000x 150000x |
加速電壓 | 500V - 15kV |
電子源 | 預對中鎢燈絲 |
聚光鏡 | 兩級電磁變焦聚光鏡 |
樣品臺 | X-Y兩軸自動樣品臺 |
樣品臺移動范圍 | 30mm×30mm |
標準配置 | 背散射電子探測器 |
尺寸 | 主機283×553×505 |