172nm光刻及相關(guān)半導(dǎo)體加工工藝(Lithography Related)
主要特性
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Osiris勻膠機(jī) 手動(dòng)/自動(dòng)

-電機(jī)內(nèi)置廢液罐,確保電機(jī)壽命
-可拆卸式勻膠機(jī)腔體,便于清洗
-外置集液罐和排液管
-樣品夾具采用分離式防堵設(shè)計(jì)
長(zhǎng)x寬x高:
最大φ200mm(φ8'')或150 x 150mm(6'' x 6'')
最大10000 rpm,轉(zhuǎn)速步進(jìn)1 rpm
最大4000 rpm/sec
1~999.9 sec,步進(jìn)0.1 sec
可拆卸、防濺式
高密度PP,白色
220 VAC/單相/50或60 Hz
-0.8 bar/-600 Torr,真空管OD φ8mm,IDφ6mm
排氣管1xOD φ38mm,排氣速度30m3/h
450x511x425 mm