半導(dǎo)體器件研發(fā)測試平臺
系統(tǒng)組成：探針臺；高精度數(shù)字源表；半導(dǎo)體分析測試軟件；必要的連接電纜附件。
一、 分析探針臺：
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
主要特點：
1.承片臺XYZ及轉(zhuǎn)角可調(diào)，帶有一鍵升降功能，方便被測器件接觸/分離；
2.90X顯微鏡（可配CCD相機+顯示器），觀察清晰；
3.可配2-6個三維精密調(diào)節(jié)針座，針尖可選5-100um，適用各種器件pad;
4.各探針及承片臺均可接測試儀表，適配各種儀表電纜接頭。
二、 高精度數(shù)字源表:
2450高精度數(shù)字源表具有高精度的電流源、電壓源、電壓測量、電流測量、電阻測量，其同步輸出-測量模式可以快捷準(zhǔn)確測量得到器件的IV特性曲線。其創(chuàng)新的圖表化用戶界面(GUI)和先進的電容觸摸屏技術(shù)，實現(xiàn)了直觀使用和學(xué)習(xí)曲線簡便化，支持工程師和科學(xué)家掌握更迅速、工作更便捷、發(fā)明更簡單。2450是適用于各行各業(yè)使用者的源測量單元(SMU)：這種多用途儀器特別適合現(xiàn)代半導(dǎo)體、納米器件和材料、有機半導(dǎo)體、印刷電子技術(shù)以及其他小尺寸、低功率器件特性分析。（2450高精度數(shù)字源表該產(chǎn)品目前我司有現(xiàn)貨）
三、 分析測量軟件：
自主研發(fā)的分析測量軟件，其功能包含—
1.接口支持：GPIB、LAN、USB（TYPE-B）。
2.操作系統(tǒng)：支持WIN7以上操作系統(tǒng)，中文界面。
3.支持IV、VI線性掃描（起始、終止、步長、正向、反向、雙向掃描），支持多次重復(fù)掃描（不少于1000000次），掃描曲線可疊加顯示（不少于20條）。
4.支持IV，VI自定義掃描，用戶可以編輯自定義掃描的輸出，軟件可加載自定義掃描文件并可連續(xù)觸發(fā)執(zhí)行多次。
5.支持I-T、V-T、R-T曲線測量，可定義運行時間長度。
6.支持階梯恒流恒壓輸出，每個階梯可按照運行時間，大于或者小于閾值電流，電壓設(shè)置終止條件，可循環(huán)多次運行（不少于1000000次）。
7.支持脈沖電流，脈沖電壓輸出（最小脈寬：1ms，最小周期：2ms）。
8.支持電流、電壓正弦波、方波輸出。
9.支持阻變測試。
10.支持憶阻器IV掃描測試，可循環(huán)多次掃描（不少于1000000次）。
11.支持4探針電阻率測試，可計算表面電阻、電阻率。
12.支持太陽能電池IV測試，可計算短路電流，開路電壓，最大功率，轉(zhuǎn)換效率，填充因子等，可選擇任意多條曲線匯總對比，導(dǎo)出。
13.支持太陽能電池最大功率點追蹤。
14.支持電池充放電測試。
15.支持電化學(xué)-循環(huán)伏安法測試。
16.軟件可安裝在任意多臺計算機上執(zhí)行。
17.數(shù)據(jù)實時顯示和保存
18.數(shù)據(jù)直接記事本、Excel打開，也可導(dǎo)入Origin內(nèi)進行分析。
其他型號的探針臺—6-12英寸手動/自動；測試儀—各品牌SMU,LCR表，矢網(wǎng)等；軟件—可以定制開發(fā)。
