微納探針臺(tái)
微納探針臺(tái)可在納米尺度上 對(duì)樣品和測(cè)試 設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表征：
1、快速、精確、穩(wěn)定
微納探針臺(tái)包含4個(gè)壓電三軸探針臂，每個(gè)三軸配備1個(gè)可拆卸式電學(xué)探針接口，可在毫米級(jí)尺度上進(jìn)行宏觀運(yùn)動(dòng)并實(shí)現(xiàn)納米尺度上的微觀運(yùn)動(dòng)。
2、使用場(chǎng)景多樣化
微納探針臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，運(yùn)動(dòng)行程 大，可匹配各種顯微鏡樣品臺(tái)，真空室，光學(xué)試驗(yàn) 臺(tái)等工作條件。
3、完善的技術(shù)解決方案
微納探針臺(tái)與尼康金相顯微鏡/SR-S copel集成形成的探針臺(tái)電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，為宏觀行程上進(jìn)行的微觀尺度電學(xué)及表 征測(cè)量提供了具體的解決方案。
4、直觀、方便
微納探針臺(tái)通過手柄控制，具有多級(jí)宏觀調(diào)速，脈沖運(yùn)動(dòng)，以及位移微調(diào)功能，宏 觀運(yùn)動(dòng)速度跨度在5um/s~2mm/s，單點(diǎn)脈 沖步進(jìn)可達(dá)300nm以下，微調(diào)運(yùn)動(dòng)分辨率小于1nm，在顯微鏡下操作更直觀，方便，精 準(zhǔn)。
5、高度集成
微納探針臺(tái)電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，配備完善的光學(xué)顯微鏡模塊，配備亮度調(diào)節(jié)，增益和變焦等功能，與電腦連接后，可實(shí)現(xiàn)圖像快照，尺寸測(cè)量和標(biāo)注，視頻記錄等常規(guī)功能。
微納探針臺(tái)
1、探針數(shù)量：4 個(gè)探頭，每個(gè)探頭配備一個(gè)三軸探針臂; 自由度：每個(gè)探頭獨(dú)立驅(qū)動(dòng)（X、Y、Z 三自由度）; 運(yùn)動(dòng)：壓電驅(qū)動(dòng)；
2、步進(jìn)最高的速度：2 mm/s（X，Y，Z）；運(yùn)動(dòng)范圍：20x20m（X，Y），10mm（Z）；運(yùn)動(dòng)分辨率：1 nm（X、Y），10nm（Z）；探針規(guī)格：針柄直徑為 0.51mm（0.020’’）;
