發(fā)布時(shí)間： 2022-12-06 11:21:07
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近期我司向中科院某研究所和某液晶制造企業(yè)分別交付一臺(tái) 6英寸手動(dòng)探針臺(tái)和一臺(tái)高阻測(cè)試屏蔽箱.
6英寸手動(dòng)探針臺(tái)配置
序號(hào) | 名稱及型號(hào) | 描述 | 數(shù)量 | 備注 |
1 | 6英吋手動(dòng)探針臺(tái) | 可測(cè)試Wafer尺寸:6英寸、4英寸,及碎片 Chuck移動(dòng)：X-Y旋鈕調(diào)節(jié)； Chuck旋轉(zhuǎn)范圍：±5°微調(diào)，360°粗調(diào) 臺(tái)面接觸分離: 10mm，一鍵分離; Chuck漏電: <1pA | 1臺(tái) | 可選配4~8寸； 可配置高、低溫版； |
2 | 體式顯微鏡 | 雙目顯微鏡，LED環(huán)形燈； 總放大倍率: 90X | 1臺(tái) | 可配置三目顯微鏡帶CCD和顯示屏 |
3 | 三維探針座 | 精密三維直流針座，磁吸附，帶磁性開關(guān)。X-Y-Z 移動(dòng): 12mmx12mmx12mm | 4個(gè) | 針座數(shù)量根據(jù)測(cè)試參數(shù)可選2~8個(gè) |
4 | 探針桿電纜 | 探針桿，Triax 公接頭，50Ω阻抗male,漏電<100fA,1.5米線纜；直接連接SMU，無需轉(zhuǎn)接頭; | 4套 | 電纜可配置香蕉插頭、同軸電纜、三同軸電纜； |
5 | 探針 | 直流鎢針，針尖直徑10微米 | 10支 |
高阻計(jì)測(cè)試盒
吉時(shí)利 6517B是測(cè)試微弱電流、靜電電流和高阻的常用科研儀器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅0.75fApp，典型測(cè)試值都在幾十到幾百fA的范圍(1fA=10-15A)；在實(shí)際測(cè)試中，這么微弱的電流信號(hào)容易受到外界環(huán)境電磁干擾的影響從而導(dǎo)致測(cè)試不準(zhǔn)，而標(biāo)配的靜電/高阻測(cè)試盒，尺寸較小，不能測(cè)試整片或大尺寸的樣品。
我公司研發(fā)制造的測(cè)試盒，尺寸是600x600x200 mm (可根據(jù)測(cè)試要求和樣品尺寸定制)，配置兩個(gè)或多個(gè)測(cè)試針座，測(cè)試探針材質(zhì)可選為鎢鋼或鈹銅鍍金，可以測(cè)試高阻絕緣膜、玻璃材料、有機(jī)材料等；其中樣品平臺(tái)和盒體采用絕緣設(shè)計(jì)，確保測(cè)試結(jié)果不受影響；測(cè)試線纜采用三同軸設(shè)計(jì)。
此外，測(cè)試盒還可以設(shè)計(jì)為匹配探針臺(tái)的箱式設(shè)計(jì)，滿足各種形式的測(cè)試需要，歡迎與我們聯(lián)系定制。
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北京華鈦技術(shù)有限公司一貫秉承服務(wù)至上，精益求精的宗旨，力求做到更好。我們始終以開放的溝通，優(yōu)秀的售前和售后支持，和成熟水平高發(fā)展和維持著與客戶長期穩(wěn)定的良好合作關(guān)系。客戶的認(rèn)可是對(duì)我們最高的獎(jiǎng)賞。
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