探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一，其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、 高速器件的精密電氣測(cè)量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類(lèi)：驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。

除探針臺(tái)外，晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)還需要使用測(cè)試儀/機(jī)，測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能，探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接，通過(guò)探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用，可以對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試，可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。

探針臺(tái)由哪些部分組成？

1.樣品臺(tái)（載物臺(tái)）

載物臺(tái)是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會(huì)根據(jù)晶圓的尺寸來(lái)設(shè)計(jì)大小，并配套了相應(yīng)的精密移動(dòng)定位功能。超精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)就是作為定位晶圓或芯片的部件設(shè)備，重復(fù)定位精度達(dá)±50納米，可以依靠精密機(jī)械運(yùn)作在極短的曝光時(shí)間內(nèi)完美定位，完成晶圓在量測(cè)端的極精密的檢測(cè)。

2.光學(xué)元件

這個(gè)部件的作用是能夠從視覺(jué)上放大觀察待測(cè)物，以便精確地將探針尖端對(duì)準(zhǔn)并放置在待測(cè)晶圓/ 芯片的測(cè)量點(diǎn)上。

3.卡盤(pán)

有一個(gè)非常平坦的金屬表面，卡盤(pán)用夾具來(lái)固定待測(cè)物，或使用真空來(lái)吸附晶圓。

探針臺(tái)如何工作？

探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針尖端放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針尖端都被設(shè)置在正確的位置，就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。

對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤(pán)，壓盤(pán)將探針頭與芯片分開(kāi)，然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上，使用顯微鏡找到精確的位置，壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺(jué)來(lái)自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過(guò)程，提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。

探針臺(tái)的作用是什么？

探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針?lè)胖迷诠杈希瑥亩梢耘c測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來(lái)測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。

晶圓檢測(cè)是半導(dǎo)體制造中必不可少的步驟，選擇合適的晶圓探針臺(tái)和探針來(lái)進(jìn)行晶圓檢測(cè)也很重要。超精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有極高精度和運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性，讓系統(tǒng)在快速運(yùn)行時(shí)，能準(zhǔn)確識(shí)別和測(cè)量出晶圓的種種缺陷，大大提高晶圓檢測(cè)效率。（更多內(nèi)容//www.fans086.cn/?cp_49/）